EL-FLOW Prestige Series
EL-FLOW® Prestige는 다양한 기능과 사용자측의 편의성에 초점을 맞춘 질량 유량계중 최고의 정점에 도달한 혁신적인 제품입니다.
EL-FLOW Prestige는 멀티가스 / 멀티 유량범위 (MG/MR) 기능을 지원하여 제품 사용에 대한 높은 유연성을 제공합니다.
이 기능은 지금 당장이라도 시스템에서 장비를 분리하지 않고 FlowTune™ 프로그램 또는 PLC를 통해서 100개의 가스중에서 원하는 가스로 쉽게 접근 할 수가 있습니다.
EL-FLOW Prestige는 사용자 스스로 스케일을 사이트에서 변경 및 조정할 수 있으며,
기기의 사용자가 해체 및 재 교정을 위한 시간과 비용을 절감 할 수 있습니다.
(GAS) EL-FLOW Prestige Series | |
Accuracy (incl. linearity) (based on actual calibration, according SEMI E56) |
standard: ±0,5% Rd plus ±0,1% FS (±0,8% Rd plus ±0,2% FS for ranges 3~5 mln/min; ±1% Rd plus ±1% FS for ranges < 3 mln/min) |
Repeatability |
0-20% < ± 0,04% FS; 20-100% < ± 0,2% Rd |
Turndown |
1:150; in analog mode 1:50 |
Multi Gas/Multi Range gases |
embedded gas data for 100 unique gases (see FAQ section on our website) plus any mixture of maximum 5 of these gases. |
Settling time |
fast: < 500 msec standard: < 1 sec slow: < 2 sec |
Operating temperature |
-10~70°C |
Temperature sensitivity |
zero: < 0,02% FS/°C; span: < 0,025% Rd/°C |
Pressure sensitivity |
standard: < 0,15% Rd/bar typical N2; with pressure correction: < 0,02% Rd typical N2 |
Accuracy of integrated pressure sensor (PI option) |
± 0,25% FS at ambient temperature |
어플리케이션 |
• 분석 및 환경 설비
• 식품,
화학 ,발전
시설, 석유화학 산업에서의 가스 유량 모니터링 및 유량 제어
• 가스 공급시설의 가스 소비량 측정 및 누적 사용
• 가스 누출 탐지
• 반도체 제조
• 표면 처리 설비
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(GAS) EL-FLOW Prestige Series
l 견고한 금속 하우징
유량 범위 |
Lowest range 0,014~0,7 mln/min |
Up to highest range 2~100 ln/min |