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VMB

  • 정의

    • VMB란?

       

      VMB(Valve Manifold Box)란 Gas 및 Chemical 분배 장치로 반도체 제조 공정에 필요한 Gas 및 Chemical를 여러 반도체 생산 장비에 분배하여 공급하는 장비입니다. 

      또한 Gas 및 Chemical는 폭발성, 인화성, 부식성, 질식성, 독성 등의 특성으로 누출 시 심각한 위험에 노출될 수 있기 때문에 Gas 및 Chemical 유량, 압력을 모니터링 하여 누출시 분배 중인 유체를 차단하는 System입니다.

       

  • 특징 및 설명

    • ◆ H2 VMB

       

      반도체 제조공정에 필요한 위험성이 높은 H2 Gas를 VMB를 통해 다수의 반도체 공정 장비로 공급하는 장치입니다. 

      또한, 폭발성, 인화성 등 위험성이 높은 Gas인 만큼 공급 중인 배관 내 압력이나 유량을 모니터링 하여 변화가 발생하는 경우 밸브를 자동으로 

      차단해주는 Interlock System을 통해 VMB 내부에서 H2 누출을 확인 차단 할 수 있습니다. 

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      ◆ ​CO2 VMB

       

      Purifier를 거쳐 정제된 순도 높은 고압 CO2 Gas를 VMB를 통해 다수의 반도체 공정 장비로 공급하는 장치입니다. 

      공정에 공급하는 고압 CO2 Gas는 온도 압력이 변화가 중요 하므로, VMB 내부 각각의 배관에 온도 전송기, 압력 전송기를 설치 하여 

      실시간 모니터링이 가능한 System입니다.

      또한 코스플로우 특허로 고압 CO2 Gas를 저압 Vent시 배관 외벽의 성에를 방지하도록 설계한 제품도 장착이 가능합니다.

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